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はじめての半導体プロセス 貸出可

前田 和夫／著 -- 工業調査会 -- 2000.12 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
９書庫 /549.8/マ/ 8131799505 一般 館内有

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書名 はじめての半導体プロセス
シリーズ名 ビギナーズブックス
著者名 前田 和夫 ／著  
出版者 工業調査会
出版年 2000.12
ページ数 310p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 過去半世紀、停滞することなく高集積化・高密度化・高性能化を続けてきた半導体デバイス。その進歩を常に支えてきた半導体製造技術における半導体プロセスについて解説した入門書。
ISBN 4-7693-1192-3

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