岐阜県図書館
トップメニュー
資料検索
資料紹介
本・資料を探す
Myライブラリ
ヘルプ
トップメニュー
>
本サイトにはJavaScriptの利用を前提とした機能がございます。
お客様の環境では一部の機能がご利用いただけない可能性がございますので、ご了承ください。
資料詳細
一度に予約できる点数は5点までです
詳細検索
ジャンル検索
1 件中、 1 件目
はじめての半導体リソグラフィ技術
貸出可
岡崎 信次/著 -- 工業調査会 -- 2003.6 -- 549.7
新着図書通知
予約かごへ
本棚へ
所蔵
所蔵は
1
件です。現在の予約件数は
0
件です。
所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
状態
9書庫
/549.7/オ/
8132426169
一般
館内有
ページの先頭へ
資料詳細
書名
はじめての半導体リソグラフィ技術
シリーズ名
ビギナーズブックス
著者名
岡崎 信次
/著,
鈴木 章義
/著,
上野 巧
/著
出版者
工業調査会
出版年
2003.6
ページ数
305p
大きさ
21cm
一般件名
リソグラフィー
,
半導体
NDC分類(9版)
549.7
内容紹介
光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる。変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説した入門書。
ISBN
4-7693-1224-5
ページの先頭へ