資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

トコトンやさしい超微細加工の本 貸出可

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.1 -- 549

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
９②書庫 /549/ア/ 8132563560 一般 館内有

ページの先頭へ

資料詳細

書名 トコトンやさしい超微細加工の本
シリーズ名 B&Tブックス
著者名 麻蒔 立男 ／著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2004.1
ページ数 159p
大きさ 21cm
一般件名 電子工学 , ナノテクノロジー
NDC分類(9版) 549
著者紹介 昭和9年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電バリアン(現、アネルバ)設立。同社取締役も務めた。現在、東京理科大学嘱託教授。著書に「真空の話」「薄膜作成の基礎」ほか。
内容紹介 電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
ISBN 4-526-05226-4

ページの先頭へ