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クラスターイオンビーム基礎と応用 貸出可

山田 公／編著 -- 日刊工業新聞社 -- 2006.10 -- 549.1

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
９書庫 /549.1/ヤ/ 8133254210 一般 館内有

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書名 クラスターイオンビーム基礎と応用
タイトル関連情報 次世代ナノ加工プロセス技術
著者名 山田 公 ／編著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2006.10
ページ数 11,223p
大きさ 21cm
一般件名 イオンビーム
NDC分類(9版) 549.1
著者紹介 京都大学名誉教授。兵庫県立大学高度産業科学技術研究所客員教授。
内容紹介 クラスターイオンビーム技術は、数百から数千の原子の塊(クラスター)からなるイオンを高速で、固体の表面に衝突させて行う表面加工技術。その基礎現象とプロセス技術の応用例をふんだんに盛り込んだ一冊。
ISBN 4-526-05765-7

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