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プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー 貸出可

上條 榮治／監修 -- シーエムシー出版 -- 2007.3 -- 549.1

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
９②書庫 /549.1/プ/ 8133406741 一般 館内有

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書名 プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー
シリーズ名 CMCテクニカルライブラリー
著者名 上條 榮治 ／監修  
出版者 シーエムシー出版
出版年 2007.3
ページ数 6,316p
大きさ 21cm
一般件名 イオンビーム , プラズマ物理学 , ナノテクノロジー
NDC分類(9版) 549.1
並列タイトル Ion Beam and Plasma Process for Nanotechnology
内容紹介 ナノテクノロジーの基盤技術としてのプラズマ・イオンビーム技術という観点から、プラズマ、イオンと固体物質の相互作用、各種装置および機能性材料の創成プロセスへの応用に重点を置き、研究の最先端を紹介。
ISBN 4-88231-915-3
ISBN13桁 978-4-88231-915-3

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