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電子線リソグラフィ教本 貸出可

横山 浩／監修 -- オーム社 -- 2007.6 -- 549.7

所蔵

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
９②書庫 /549.7/デ/ 8133418715 一般 館内有

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書名 電子線リソグラフィ教本
著者名 横山 浩 ／監修, 秋永 広幸 ／編  
出版者 オーム社
出版年 2007.6
ページ数 13,210p
大きさ 21cm
一般件名 リソグラフィー , 電子線
NDC分類(9版) 549.7
内容紹介 「産学連携製造中核人材育成事業」の育成プログラム「電子線リソグラフィ」カリキュラムをもとに構築した実践的なテキスト。電子線リソグラフィの概要、電子線の制御方法や描画技術、レジストなどについて解説。
ISBN 4-274-20415-9
ISBN13桁 978-4-274-20415-9

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