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超LSIレジストの分子設計
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津田 穣/著 -- 共立出版 -- 1990.4 -- 549.7
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資料コード
資料区分
状態
7書庫
/549.8/ツ/
8120293480
一般
館内有
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資料詳細
書名
超LSIレジストの分子設計
シリーズ名
表面・薄膜分子設計シリーズ
著者名
津田 穣
/著
出版者
共立出版
出版年
1990.4
ページ数
117p
大きさ
19cm
一般件名
集積回路
,
工業材料
,
薄膜
NDC分類(9版)
549.7
ISBN
4-320-08511-6
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