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イオンビームによる薄膜設計 貸出可

山田 公／著 -- 共立出版 -- 1991.9 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
７書庫 /549.8/ヤ/ 8120314197 一般 館内有

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書名 イオンビームによる薄膜設計
シリーズ名 表面・薄膜分子設計シリーズ
著者名 山田 公 ／著  
出版者 共立出版
出版年 1991.9
ページ数 114p
大きさ 19cm
一般件名 薄膜
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 第1章.薄膜の形成 第2章.イオンビームの作用 第3章.種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法 第4章.プラズマ中での薄膜形成法 第5章.真空中での薄膜形成法
ISBN 4-320-08515-9

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