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半導体製造装置用語辞典
貸出可
日本半導体製造装置協会/編 -- 日刊工業新聞社 -- 1991.9 -- 549.8
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資料コード
資料区分
状態
7書庫
/549.8/ハ/
8120487090
一般
館内有
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資料詳細
書名
半導体製造装置用語辞典
著者名
日本半導体製造装置協会
/編
出版者
日刊工業新聞社
出版年
1991.9
ページ数
419p
大きさ
22cm
一般件名
半導体-辞典
NDC分類(9版)
549.8
版表示
第2版
内容紹介
1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語
ISBN
4-526-02987-4
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