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    小川京子
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シリコン 貸出可

阿部 孝夫／著 -- 培風館 -- 1994.5 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
７書庫 /549.8/ア/ 8121316472 一般 館内有

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書名 シリコン
タイトル関連情報 結晶成長とウェーハ加工
シリーズ名 アドバンストエレクトロニクスシリーズ
著者名 阿部 孝夫 ／著  
出版者 培風館
出版年 1994.5
ページ数 361p
大きさ 22cm
一般件名 シリコン(半導体)
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 「神の賜物」と呼ばれる、優れた特性を数多く持つシリコンの製作法の歴史を振り返り、現在の技術的問題について検証し、さらに今後予想されるギガビット級D-RAMなどのデバイスに要求されるウェーハ開発のための技術に至るまで詳述した解説書。
ISBN 4-563-03605-6

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