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半導体とデバイスの問題解決
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黒田 司/著 -- 日刊工業新聞社 -- 1996.10 -- 549.8
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資料コード
資料区分
状態
7書庫
/549.8/ク/
8130687925
一般
館内有
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資料詳細
書名
半導体とデバイスの問題解決
著者名
黒田 司
/著
出版者
日刊工業新聞社
出版年
1996.10
ページ数
178,6p
大きさ
21cm
一般件名
半導体
NDC分類(9版)
549.8
内容紹介
1.半導体表面と界面の物性 2.半導体と界面デバイス 3.半導体デバイス界面の微細加工と変質・改質 4.デバイスの故障診断と改善<ソフトカバー>
ISBN
4-526-03924-1
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