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超微細加工技術 貸出可

徳山 巍／編著 -- オーム社 -- 1997.2 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
７書庫 /549.8/ト/ 8130770960 一般 館内有

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書名 超微細加工技術
シリーズ名 応用物理学シリーズ
著者名 徳山 巍 ／編著  
出版者 オーム社
出版年 1997.2
ページ数 309p
大きさ 22cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 1.序論 2.光リソグラフィ技術 3.電子線リソグラフィ技術 4.イオンビームリソグラフィ技術 5.X線リソグラフィ技術 6.レジスト材料 7.エッチング技術 8.形状シミュレーション技術 ほか1章
ISBN 4-274-02332-X

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