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    石川真生
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薄膜技術の新潮流 貸出可

平尾 孝／[ほか]共著 -- 工業調査会 -- 1997.7 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
９書庫 /549.8/ヒ/ 8130898222 一般 館内有

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書名 薄膜技術の新潮流
タイトル関連情報 多彩な新規応用をカバー
シリーズ名 ケイブックス
著者名 平尾 孝 ／[ほか]共著  
出版者 工業調査会
出版年 1997.7
ページ数 258p
大きさ 19cm
一般件名 薄膜
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 半導体、ディスプレイ、記録などのキーデバイスにおける、薄膜形成や微細加工技術の進展と技術レベルが、コストや性能を決定する。薄膜、加工技術の基礎から応用まで、最新情報を踏まえて解説する。
ISBN 4-7693-1157-5

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