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半導体製造装置用語辞典 貸出可

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1997.11 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
９書庫 /549.8/ハ/ 8131612277 一般 館内有

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書名 半導体製造装置用語辞典
著者名 日本半導体製造装置協会 ／編  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1997.11
ページ数 547p
大きさ 22cm
一般件名 半導体-辞典
NDC分類(9版) 549.8
版表示 第4版
内容紹介 最近のLSI・超LSI製造技術、デバイス開発の目ざましい進歩や環境保護への取り組みの強化など、時代の要請を反映し、新用語の追加、内容の洗練を図った最新知識充実の辞典。
ISBN 4-526-04090-8

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