資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

電子・イオンビームハンドブック 貸出可

日本学術振興会第132委員会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1998.10 -- 549.1

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
９書庫 /549.1/デ/ 8131178360 一般 館内有

ページの先頭へ

資料詳細

書名 電子・イオンビームハンドブック
著者名 日本学術振興会第132委員会 ／編  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1998.10
ページ数 963p
大きさ 22cm
一般件名 電子線-便覧 , イオンビーム-便覧
NDC分類(9版) 549.1
版表示 第3版
内容紹介 ある特定の方向に有限断面を保って移動する電子またはイオンの集団である電子・イオンビーム。その軌道論、空間電荷効果と走行時間効果、照射効果、加工、リソグラフィなどについて解説する。73年刊の第3版。
ISBN 4-526-04247-1

ページの先頭へ