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超精密加工技術
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日本機械学会/編 -- コロナ社 -- 1998.11 -- 532
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所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
状態
9書庫
/532/チ/
8131177514
一般
館内有
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資料詳細
書名
超精密加工技術
シリーズ名
超精密シリーズ
著者名
日本機械学会
/編
出版者
コロナ社
出版年
1998.11
ページ数
200p
大きさ
22cm
一般件名
機械工作
NDC分類(9版)
532
内容紹介
1.超精密加工の必要性 2.超精密加工機械 3.超精密切削 4.超精密研削 5.超精密ポリシング 6.リソグラフィおよびエッチング 7.高精度プラスチックレンズ
ISBN
4-339-04412-1
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