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はじめての半導体製造装置 貸出可

前田 和夫／著 -- 工業調査会 -- 1999.3 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
９書庫 /549.8/マ/ 8131343910 一般 館内有

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書名 はじめての半導体製造装置
シリーズ名 ビギナーズブックス
著者名 前田 和夫 ／著  
出版者 工業調査会
出版年 1999.3
ページ数 254p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 すべての産業の中で最も先端的ともいえる半導体製造。その進歩の歴史、基本技術や実際の製造工程を解説。半導体市場や技術との関係から半導体製造技術をより広い視野でとらえる。
ISBN 4-7693-1169-9

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