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薄膜トランジスタ
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薄膜材料デバイス研究会/編 -- コロナ社 -- 2008.11 -- 549.6
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資料コード
資料区分
状態
9②書庫
/549.6/ハ/
8133735196
一般
館内有
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資料詳細
書名
薄膜トランジスタ
著者名
薄膜材料デバイス研究会/編
出版者
コロナ社
出版年
2008.11
ページ数
229p
大きさ
21cm
一般件名
薄膜トランジスタ
NDC分類(9版)
549.6
内容紹介
近年発展目覚しい薄膜トランジスタ(TFT)について、概論および発展史から動作原理、作製技術、各種評価技術、劣化現象や信頼性評価技術、応用技術や将来技術に至るまで、広範囲な知識を系統的に解説する。
ISBN
4-339-00802-9
定価
¥3000
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