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薄膜材料デバイス研究会/編 -- コロナ社 -- 2008.11 -- 549.6

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
9②書庫 /549.6/ハ/ 8133735196 一般 館内有

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書名 薄膜トランジスタ
著者名 薄膜材料デバイス研究会/編  
出版者 コロナ社
出版年 2008.11
ページ数 229p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜トランジスタ
NDC分類(9版) 549.6
内容紹介 近年発展目覚しい薄膜トランジスタ(TFT)について、概論および発展史から動作原理、作製技術、各種評価技術、劣化現象や信頼性評価技術、応用技術や将来技術に至るまで、広範囲な知識を系統的に解説する。
ISBN 4-339-00802-9
定価 ¥3000