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マイクロセンサ工学 貸出可

室 英夫／編著 -- 技術評論社 -- 2009.8 -- 501.22

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
９②書庫 /501.2/マ/ 8133902258 一般 館内有

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書名 マイクロセンサ工学
シリーズ名 現場の即戦力
著者名 室 英夫 ／編著, 藍 光郎 ／著, 石垣 武夫 ／著, 石森 義雄 ／著, 岡山 努 ／著  
出版者 技術評論社
出版年 2009.8
ページ数 12,234p
大きさ 21cm
一般件名 センサ
NDC分類(9版) 501.22
著者紹介 東京大学大学院工学研究科修士課程修了。日産自動車(株)中央研究所で半導体センサの研究開発に従事。2006年より千葉工業大学教授。共著に「次世代センサハンドブック」など。
内容紹介 センサの基本的な分類と各種変換効果、MEMSセンサを製造するためのマイクロマシーニング技術、各センサに共通の信号処理回路を解説するほか、「光センサ」「機械量センサ」「流体センサ」など、センサ各論も収録する。
ISBN 4-7741-3904-3
ISBN13桁 978-4-7741-3904-3

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