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    滝岡幸子
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はじめてのMEMS 貸出可

江刺 正喜／著 -- 工業調査会 -- 2009.9 -- 530

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
９書庫 /530/エ/ 8133900306 一般 館内有

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書名 はじめてのMEMS
シリーズ名 ビギナーズブックス
著者名 江刺 正喜 ／著  
出版者 工業調査会
出版年 2009.9
ページ数 230p
大きさ 21cm
一般件名 マイクロマシン
NDC分類(9版) 530
内容紹介 従来の情報通信機器から、ゲーム機・医療福祉機器分野まで応用分野が拡大しているMEMS(微小機械電気システム)。半導体技術に異分野技術を取り込んだMEMSの基礎から応用までをわかりやすく解説する。
ISBN 4-7693-1287-1
ISBN13桁 978-4-7693-1287-1

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