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薄膜工学 貸出可

金原 粲／監修 -- 丸善出版 -- 2011.6 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
９書庫 /549.8/ハ/ 8134166363 一般 館内有

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書名 薄膜工学
著者名 金原 粲 ／監修, 吉田 貞史 ／編著, 近藤 高志 ／編著, 日本学術振興会薄膜第131委員会 ／編集企画  
出版者 丸善出版
出版年 2011.6
ページ数 12,295p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜
NDC分類(9版) 549.8
版表示 第2版
内容紹介 薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた2次元・3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。
ISBN 4-621-08414-4
ISBN13桁 978-4-621-08414-4

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