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よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み 貸出可

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2011.10 -- 549.7

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
一般１階 /549.7/サ/ 8134202601 一般 館内有

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書名 よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み
タイトル関連情報 リソグラフィ技術の核心に迫る
シリーズ名 図解入門
叢書副書名 How‐nual
著者名 佐藤 淳一 ／著  
出版者 秀和システム
出版年 2011.10
ページ数 271p
大きさ 21cm
一般件名 リソグラフィー , 半導体
NDC分類(9版) 549.7
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ナノフロント研究所代表。半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。著書に「半導体の基礎強化書」など。
内容紹介 リソグラフィの基礎から発展までの技術を、プロセスフローを例にして豊富なイラストで分かりやすく解説した入門書。半導体製造現場に近い視点も取り入れ、歴史的経緯にも触れながら説明する。
ISBN 4-7980-3063-0
ISBN13桁 978-4-7980-3063-0

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