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半導体・MEMSのための超臨界流体 貸出可

近藤 英一／編著 -- コロナ社 -- 2012.9 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
一般１階 /549.8/コ/ 8134298916 一般 館内有

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書名 半導体・MEMSのための超臨界流体
著者名 近藤 英一 ／編著, 上野 和良 ／共著, 内田 寛 ／共著, 曽根 正人 ／共著, 生津 英夫 ／共著, 服部 毅 ／共著, 堀 照夫 ／共著, 森口 誠 ／共著  
出版者 コロナ社
出版年 2012.9
ページ数 7,227p
大きさ 21cm
一般件名 半導体 , マイクロマシン , 超臨界流体
NDC分類(9版) 549.8
著者紹介 早稲田大学大学院博士前期課程修了(資源および金属工学専攻)。川崎製鐵ハイテク研究所主任研究員、IMECエキスパート研究員などを経て、山梨大学教授。
内容紹介 気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体の新しい応用の切り口を提供するテキスト。半導体・MEMSの製造プロセスと、乾燥、洗浄、堆積などの基本的なプロセスについて丁寧に解説する。
ISBN 4-339-00837-1
ISBN13桁 978-4-339-00837-1

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