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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 貸出可

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2016.8 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
９書庫 /549.8/サ/ 8134696771 一般 館内有

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書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
タイトル関連情報 製造装置の全体を俯瞰する
シリーズ名 図解入門
叢書副書名 How‐nual
著者名 佐藤 淳一 ／著  
出版者 秀和システム
出版年 2016.8
ページ数 259p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
版表示 第2版
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。長崎大学工学部非常勤講師等を務めた。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」等。
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
ISBN 4-7980-4726-3
ISBN13桁 978-4-7980-4726-3

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