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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用 貸出可

表面技術協会／編 -- コロナ社 -- 2016.12 -- 566.7

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
一般１階 /566.7/ド/ 8134748555 一般 館内有

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書名 ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用
著者名 表面技術協会 ／編  
出版者 コロナ社
出版年 2016.12
ページ数 10,305p
大きさ 21cm
一般件名 金属表面処理 , 薄膜
NDC分類(9版) 566.7
内容紹介 「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎」の応用編。真空技術からプロセスモニター、炭素系薄膜まで、研究現場や製造現場で基礎技術をベースに的確にドライプロセスが実施できるよう、工夫して解説する。
ISBN 4-339-04650-2
ISBN13桁 978-4-339-04650-2

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