資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

プラズマプロセス技術 貸出可

プラズマ・核融合学会／編 -- 森北出版 -- 2017.1 -- 501.4

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
一般１階 /501.4/プ/ 8134760890 一般 館内有

ページの先頭へ

資料詳細

書名 プラズマプロセス技術
タイトル関連情報 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
著者名 プラズマ・核融合学会 ／編  
出版者 森北出版
出版年 2017.1
ページ数 7,273p
大きさ 22cm
一般件名 材料科学 , プラズマ物理学
NDC分類(9版) 501.4
内容紹介 超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。
ISBN 4-627-77561-9
ISBN13桁 978-4-627-77561-9

ページの先頭へ