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よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み 貸出可

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2020.9 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 状態
一般１階 /549.8/ｻ/ 8135219443 一般 館内有

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書名 よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み
タイトル関連情報 シリコンが半導体になる製造工程を俯瞰
シリーズ名 図解入門
叢書副書名 How‐nual
著者名 佐藤 淳一 ／著  
出版者 秀和システム
出版年 2020.9
ページ数 255p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
版表示 第4版
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。テクニカルライターとして活動。応用物理学会員。著書に「よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み」など。
内容紹介 ウェーハから半導体ファブ、前工程、後工程まで、半導体のプロセスの全てを俯瞰できるように、わかりやすいイメージの図や表を交えて解説。歴史的経緯にもふれる。新章「CMOSのプロセスフロー」を加えた第4版。
ISBN 4-7980-6245-7
ISBN13桁 978-4-7980-6245-7

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