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超微細加工技術
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徳山 巍/編著 -- オーム社 -- 1997.2 -- 549.8
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資料コード
資料区分
状態
7書庫
/549.8/ト/
8130770960
一般
館内有
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資料詳細
書名
超微細加工技術
シリーズ名
応用物理学シリーズ
著者名
徳山 巍
/編著
出版者
オーム社
出版年
1997.2
ページ数
309p
大きさ
22cm
一般件名
半導体
NDC分類(9版)
549.8
内容紹介
1.序論 2.光リソグラフィ技術 3.電子線リソグラフィ技術 4.イオンビームリソグラフィ技術 5.X線リソグラフィ技術 6.レジスト材料 7.エッチング技術 8.形状シミュレーション技術 ほか1章
ISBN
4-274-02332-X
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